元，涉及聚焦离子束扫描电子显微镜FIB+SEM、激光共聚焦显微镜、金相显微镜、X射线衍射仪、三维光学表面轮廓仪、超快三维探针台、低温强磁场真空探针台、太赫兹射频探针台、太赫兹时域频谱仪等，预计采购时间为202
本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购激光隐形切割机、等离子体清洗机、全自动贴片机、倒装贴片机、塑封固化机、激光植球机、真空回流焊炉、自动点胶机、金丝球焊机、超声波楔焊机、激光焊接机、平行缝焊机、3D打印机、多功能柔性激光精密加工系统、多层电路压合设备、芯粒贴片机等设备，实现高精度后道封装工艺，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。
本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购深硅刻蚀、TSV通孔刻蚀、金属刻蚀机、电介质刻蚀机、电感耦合反应离子刻蚀、二氧化硅刻蚀机、RIE干法刻蚀、PZT刻蚀机、氮化铝刻蚀机、离子束刻蚀机、KOH腐蚀系统等设备，实现压电薄膜的高质量制备与高精度加工，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。
本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购聚焦离子束扫描电子显微镜FIB+SEM激光共聚焦显微镜金相显微镜X射线衍射仪、三维光学表面轮廓仪、超快三维探针台、低温强磁场真空探针台、太赫兹射频探针台、太赫兹时域频谱仪、太赫兹三维层析成像系统、高精度太赫兹近场扫描系统、集成光电子测试系统、谐振式MEMS测试台、直流探针台及源表设备等设备，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。
本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购8英寸光刻机、晶圆清洗机、晶圆干燥机、匀胶机、显影机、飞秒激光加工系统、双光子聚合3D打印系统、管式退火炉、快速真空退火炉、离子注入机、多物理场仿真设计软件、有限元仿真设计软件、集成光学和半导体电子器件仿真设计软件、高性能工作站等设备，实现高精度接近式光刻图形加工与飞秒激光图形加工，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。
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